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PVD镀膜设备的使用步骤

 

1、打开真空控制电源开关。

2、开维持泵对扩散泵抽低真空,并测量前级真空度。

3、待前级压力达到5*100后,开扩散泵加热。

4、开充气阀,对镀膜室充气,打开镀膜室门,装好清洗干净的工件,关好炉门。

5、待扩散泵正常工作一小时后,开机械泵开预抽阀,对真空室手抽真空至1*103,然后开罗茨泵。

6、当压力达到3*100后,关预抽阀,开前级阀。开高真阀,对镀膜室抽高真空。

7、当真空室压力达到8*10-3(具体压力值根据工艺要求而定)后开工件旋转,并开加热至设定值。

8、开始镀膜操作程序。

9、镀膜操作程序结束。

10、降炉温至100℃以下,打开充气阀开炉门取出工件,每一炉使用之前对炉内进行清洁。

——文本由真空镀膜设备厂家广东振华科技发布。

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