PVD镀膜设备的使用步骤

互推小编 2023-07-18

1、打开真空控制电源开关。

2、开维持泵对扩散泵抽低真空，并测量前级真空度。

3、待前级压力达到5*100后，开扩散泵加热。

4、开充气阀，对镀膜室充气，打开镀膜室门，装好清洗干净的工件，关好炉门。

5、待扩散泵正常工作一小时后，开机械泵开预抽阀，对真空室手抽真空至1*103，然后开罗茨泵。

6、当压力达到3*100后，关预抽阀，开前级阀。开高真阀，对镀膜室抽高真空。

7、当真空室压力达到8*10-3（具体压力值根据工艺要求而定）后开工件旋转，并开加热至设定值。

8、开始镀膜操作程序。

9、镀膜操作程序结束。

10、降炉温至100℃以下，打开充气阀开炉门取出工件，每一炉使用之前对炉内进行清洁。

——文本由真空镀膜设备厂家广东振华科技发布。

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